芯碁微装获2018年度“首台套”项目认定

发布日期:2018-10-29
        日前,安徽省经济和信息化委员会发布2018年安徽省首台(套)重大技术装备认定名单,合肥芯碁微电子装备有限公司(以下简称“芯碁”)等130个单位在众多项目中脱颖而出,被认定为2018年度安徽省首台(套)重大技术装备项目。
        芯碁微装凭借ACURA280激光直写成像设备获认定。这是一款高性能、高解析激光直接成像系统,采用大功率曝光光源,将高产量、高精度的成像和定位系统结合,可实现自动侦测、自动归类、指定倍率曝光、无底片作业,缩短流程,解决涨缩不良缺陷,减少因底片工具所产生的缺陷,达到8μm/12μm高精度解析,最大曝光面积525mm*610mm,适用客户需求的多种尺寸,为不同封装载板类型提供完美解决方案。