MLL系列

发布日期:2016-1-8

紧凑型无掩膜直写光刻设备

应用于IC芯片、MEMSLED、生物芯片、触摸屏等加工

高精密定位工作平台,可实现6英寸的基底尺寸(可扩展)

可实现0.6μm的亚微米线宽分辨率

配备高精度套刻和背面对准功能(可选配)

可接受客制化订制